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多工位檢漏平臺
真空箱氦檢漏系統
滲氦型標準漏孔
用于對氦質譜檢漏儀進行校準。常用的漏率為1.0-2.0×10
-8
Pa
·
m
3
/s。
1.
漏率范圍:1.0×
10
-10
到5.0×
10
-8
Pa
·
m
3
/s。
2.
接口
KF25
或
M14內
螺紋接口。
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